DLCコーティングによって基材にひずみはできますか？

DLCには，圧縮の膜応力が掛かっているので，厳密に言えば歪みは発生しません。ただ，膜厚が薄い(1μm程度)ので，薄片試料以外では問題にならない範囲です。